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濺射靶材的清潔方法及養護，這幾點(diǎn)不可忽視

2022-01-15

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濺射靶材在隨著(zhù)使用率的增加，表面可能會(huì )附著(zhù)有殘留物，如粉塵、油污、氧化物等，繼而靶材表面有不同程度的結瘤，產(chǎn)品質(zhì)量也會(huì )有所下降，導致生產(chǎn)成本增加。因此，需要濺射靶材進(jìn)行充分的清潔，保證靶材的清潔度。今天就和大家介紹下濺射靶材的清潔方法及養護。