你知道靶材的主要性能要求有哪些嗎？

2022-01-15

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靶材的熱穩定性是指其在熱處理過(guò)程中的穩定性能。在實(shí)際應用中，降低制備溫度和提高加工精度均需要較好的熱穩定性，否則材料容易變形、氧化等，從而影響產(chǎn)品性能和使用壽命。

解密,靶材在真空電鍍中的應用

2022-01-15

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再適當的設定條件下可將多元復雜的靶材制作出同一組成的薄膜。靶材輸入電流及濺射時(shí)間可以控制,容易得到高精度的膜厚。較其它制程利于生產(chǎn)大面積的均一薄膜。更多