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靶材的熱穩定性是指其在熱處理過(guò)程中的穩定性能。在實(shí)際應用中,降低制備溫度和提高加工精度均需要較好的熱穩定性,否則材料容易變形、氧化等,從而影響產(chǎn)品性能和使用壽命。
靶材的純度是指材料中含有雜質(zhì)的質(zhì)量分數,對于制備高品質(zhì)的薄膜材料和器件至關(guān)重要。靶材純度越高,制備出的薄膜材料和器件的性能就越好。因此,靶材制備過(guò)程中必須用高純度的原料,控制制備工藝和環(huán)境,以降低雜質(zhì)含量。
靶材均勻性是指靶材中各種元素分布的均勻性。通過(guò)優(yōu)化制備工藝和材料管理措施,可以提高靶材的均勻性,降低不同位置靶材的成分濃度差異。這對于制備大面積、高精度、高品質(zhì)的薄膜材料和器件具有重要意義。