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濺射靶材在隨著(zhù)使用率的增加，表面可能會(huì )附著(zhù)有殘留物，如粉塵、油污、氧化物等，繼而靶材表面有不同程度的結瘤，產(chǎn)品質(zhì)量也會(huì )有所下降，導致生產(chǎn)成本增加。因此，需要濺射靶材進(jìn)行充分的清潔，保證靶材的清潔度。今天就和大家介紹下濺射靶材的清潔方法及養護。
　　一、濺射靶材的清潔方法

　　清潔濺射靶材的目的是去除靶材表面可能存在的雜質(zhì)灰塵或污垢?？梢酝ㄟ^(guò)以下方法達到清潔目的。注意清潔靶材時(shí)請配帶干凈而且不會(huì )起絨的保護手套，避免用手直接接觸靶材。

　　1、吸塵器清潔
　?。?）清除大顆粒物，采用吸塵器將濺射成膜過(guò)程中沉落到靶材濺射面的大顆粒物吸除干凈
　?。?）砂紙打磨，采用相應目數的砂紙對靶材的濺射面進(jìn)行打磨，打磨方向順應靶材濺射面形成有的跑道的方向，同時(shí)將位于跑道中間表面泛黃的氧化層打磨干凈，去除濺射面的氧化物和雜質(zhì)。
　?。?）清潔除塵，采用吸塵器將靶材的濺射面上由于砂紙打磨而產(chǎn)生的顆粒物和灰塵吸除干凈。
　?。?）擦拭清潔：采用無(wú)塵布蘸取少量酒精對靶材的濺射面進(jìn)行擦拭清潔，除去沒(méi)有完全吸除的灰塵，直至無(wú)塵布表面只有輕微變色。

2、其他清潔法
　?。?）用在丙酮中浸泡過(guò)的無(wú)絨軟布清潔；
　?。?）用酒精清潔；
　?。?）用去離子水清洗。在用去離子水清洗過(guò)后再將靶材放置在烘箱中以100攝氏度烘干30分鐘。氧化物及陶瓷靶材的清洗建議用“無(wú)絨布”進(jìn)行清潔；
　?。?）用高壓低水氣的氬氣沖洗靶材，以除去所有可能在濺射系統中會(huì )造成起弧的雜質(zhì)微粒。以上是濺射靶材清潔方法的介紹，接下來(lái)我們再來(lái)講解下濺射靶材的養護。

　二、濺射靶材的養護

　　1、密封性檢查
　　靶材完成安裝后需要對整個(gè)陰極進(jìn)行短路檢查及密封性檢查，建議通過(guò)使用電阻儀搖表的方式對陰極是否存在短路進(jìn)行判斷。在確定陰極不存在短路后，可以進(jìn)行檢漏檢查，將水通入陰極確定是否存在漏水現象.
　　2、濺射靶材保養
　對使用完成的濺射靶材進(jìn)行保養，為避免在再次濺射過(guò)程中因為不潔凈的腔體導致短路和起弧，有必要階段性的除去濺射軌道中間及兩側堆積的濺射物，這也有助于用戶(hù)可以連續以大功率密度進(jìn)行濺射。
3、濺射靶材儲存
　　濺射靶材不用時(shí)，無(wú)論是金屬或陶瓷類(lèi)的靶材，建議用戶(hù)將靶材保存在真空密封塑料袋中，并附有防潮劑。尤其是貼合靶材更需要保存在真空條件下，以避免貼合層氧化影響貼合質(zhì)量。靶材外包裝一般為木箱，四周有防撞層，以保護靶材和背靶避免在運輸和儲存過(guò)程中發(fā)生損壞。