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解密,靶材在真空電鍍中的應用
來(lái)源:
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作者:嘉海新材料
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發(fā)布時(shí)間: 2022-01-15
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再適當的設定條件下可將多元復雜的靶材制作出同一組成的薄膜。靶材輸入電流及濺射時(shí)間可以控制,容易得到高精度的膜厚。較其它制程利于生產(chǎn)大面積的均一薄膜。更多
(2)再適當的設定條件下可將多元復雜的靶材制作出同一組成的薄膜。
(4)靶材輸入電流及濺射時(shí)間可以控制,容易得到高精度的膜厚。
(5)較其它制程利于生產(chǎn)大面積的均一薄膜。更多
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