2022-01-15
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靶材的熱穩定性是指其在熱處理過(guò)程中的穩定性能。在實(shí)際應用中,降低制備溫度和提高加工精度均需要較好的熱穩定性,否則材料容易變形、氧化等,從而影響產(chǎn)品性能和使用壽命。
2022-01-15
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濺射靶材在隨著(zhù)使用率的增加,表面可能會(huì )附著(zhù)有殘留物,如粉塵、油污、氧化物等,繼而靶材表面有不同程度的結瘤,產(chǎn)品質(zhì)量也會(huì )有所下降,導致生產(chǎn)成本增加。因此,需要濺射靶材進(jìn)行充分的清潔,保證靶材的清潔度。今天就和大家介紹下濺射靶材的清潔方法及養護。
2022-01-15
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再適當的設定條件下可將多元復雜的靶材制作出同一組成的薄膜。靶材輸入電流及濺射時(shí)間可以控制,容易得到高精度的膜厚。較其它制程利于生產(chǎn)大面積的均一薄膜。更多
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